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光罩,也叫光掩膜版,英文名字叫Mask,是一种由石英为材料制成的,可以用在半导体曝光制程上的母版。 而这种从光罩母版的图形转换到晶圆上的过程,就像机工作一样。我们可以把光刻机想象成机,把母版的图形印到纸张上的过程,就像光刻机把芯片图形印到晶圆上一样,都需要有母版,这个母版在半导体制造上就是光罩。











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在半导体设备的全部步骤中,在其中部分就是以板图到圆晶(wafer)生产制造正中间的1个全过程,即光掩膜或称光罩(mask)生产制造。这部分是步骤对接的重要一部分,是步骤中工程造价i高的部分,都是限定i小图形界限的短板之首。针对数据处理方法关键来源于于加工工艺上的规定,制版价格,在图像处理上带:1,制版报价,立即相匹配光掩膜立即相匹配到板图的一层层,如金属材料层。2,逻辑运算光刻图型将会由1层或双层板图层逻辑运算而成。





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什么叫掩膜i先人们从物理学的视角讨论一下mask究竟是什么全过程。在半导体设备中,很多集成ic加工工艺流程选用光刻技术,用以这种流程的图型“胶片照片”称之为掩膜(也称之为“掩模”),舟山制版,其功效是:在硅片上选中的地区中对1个不全透明的图型模版遮住,进而下边的浸蚀或外扩散将只危害选中的地区之外的地区。图象掩膜两者之间相近,用选中的图象、图型或物块,对解决的图象(所有或部分)开展挡住,来操纵图象处理的地区或处理方式。-





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