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光刻板 昆山光刻版
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发布时间: 2020-07-04 11:23
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公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!

为了制造一款芯片需要几百道工序,光罩也是不只一张的,在14nm工艺制程上,大约需要60张光罩,7nm可能需要80张光罩甚至更多。当然光罩的品质要求是不同的,对于某些对精度要求很高的工序,相对应的光罩对精度的要求时的,比如晶体管相关的光罩, 而对精度要求不那么高的工艺,比如Pad(打线孔)等要求就低一些,光罩价格也便宜一些。 先进制程对光罩精度的要求越来越高,同时不能有缺陷,所以光罩制造后的检查(Inspection)也很重要。









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菲林在使用中需注意的事项

每一批次的菲林在投入使用之前,都应进行基本密度测试及网点线性化,而后根据测试结果采取相应的工艺措施,如调整激光焦距、曝i光量、显影定影的温度和时间以实现规范化、科学化生产,防止不合格产品产生。




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什么叫掩膜i先人们从物理学的视角讨论一下mask究竟是什么全过程。在半导体设备中,光刻版,很多集成ic加工工艺流程选用光刻技术,用以这种流程的图型“胶片照片”称之为掩膜(也称之为“掩模”),其功效是:在硅片上选中的地区中对1个不全透明的图型模版遮住,进而下边的浸蚀或外扩散将只危害选中的地区之外的地区。图象掩膜两者之间相近,用选中的图象、图型或物块,对解决的图象(所有或部分)开展挡住,来操纵图象处理的地区或处理方式。-





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